光电材料|光电性能可调的(In1-xAlx)2O3薄膜的沉积与表征
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在SiO2(110)衬底上制备了光电性能可调的光电材料三元(In1-xAlx)2O3 (IAO)薄膜。
研究了不同In-Al含量x [Al/(In+Al)原子比]对光电材料IAO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。
XRD研究认为,由于In硫含量的大幅度降低,透气膜由**的立米In2O3组成转化为非晶相。
所有光电材料IAO薄膜均表现出**的光学性能,在可见范围内的平均透射率均超过84%。
当x数值0 ~ 0.9时,贴膜的电子光学带隙可从3.71 eV幅度调制到5.29 eV。随着时间的推移In含铁的调低,霍尔变更率和载流子酸度的降低,阻值率新增。
后果意味着,经由优化in - al类物质,是可以**地调高IAO复合膜的耐热性,故而可应该用于短光波长光电公司元件的制法。

多推存
meso-四(对烷氧基苯基)卟啉钼配合物
混炼铅固载四(对-羧基苯基)铁卟啉催化反应用料(FeTCPP/PbS)
cas:108443-61-4|四羧基苯基卟啉钴|TCPP-(Co2+)
原卟啉 IX 二甲酯,CAS号:5522-66-7
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