反射式高能电子衍射(RHEED)的特点及原位实时监测薄膜生长的原理
射线式微高网络衍射(Reflection high energy electron diffraction，又称RHEED)RHEED的共同点及原位实时视频检测塑料膜滋生的机制：情况反射式高激光电子器材衍射（RHEED）是一个种原位（In-situ）监测方案系统化贴膜种子发芽的设备构造的**.设备。在电镀等等流程中，它常见重新安装在MBE系统化上，使用在贴膜的设备构造的原位监测方案系统化，RHEED的应用领域极大地增强了MBE电镀等等情况的研究分析生产率。RHEED常用于探测塑料透气膜生長(（但是是亚单分子层)。能够RHEED 纹路表现，可分享基低的表皮再构、基低或塑料透气膜表皮的单晶体形式。能够衍射程度的变换，可分享塑料透气膜表皮模糊度，为了探测塑料透气膜生長学习进度。与低能電子衍射(Low energy electron diffraction，LEED)和散发出電子衍射(Transmissionhigh energy electron diffraction，THEED）相本质区别 ，它具备很高的電子人体脂肪（10~100keV),電子与聚酯pe膜接触面的影响具备射线性质。其方法下图如图，10~100keV的高人体脂肪電子以较小的的角度（常为1~3°)入射试品接触面，即電子束以近乎相持平于试品接触面的方法入射，进行试品晶面的衍射后，在其他侧的液晶屏上可检则到電子衍射讯号，使用此讯号可实时视频监控聚酯pe膜的生张构成与境况。致使在RHEED科学实验中，電子束以近乎相持平于试品的方法入射，故而電子束不仅透入聚酯pe膜接触面儿个共价键层壁厚，这刚刚好可使得RHEED已成为结晶体接触面构成剖析的强强而有力.手段。光电衍射亦是不错用爱瓦尔德的倒易原理实施介绍，衍射倒易原理指出，当爱瓦尔德衍射球与倒易晶格点相切处时，衍射就要有。普遍言之，由衍射花花花纹可可以直接判断发育的pet薄膜是不是也为多晶硅体。只要一般光电衍射有在包括必然圆满型式的多晶硅体体（Single crystalline）漆层，3d的倒易晶格点将情况为无限卡的直线棒束，往往的上随着热振动模式和晶格的不系统性，基本情况为限制的直线棒束( Streaky feature)，如下图所示 (b)。若衍射有在拟合的多结结晶体(Polycrystalline)漆层，其衍射花花花纹为环状。只要衍射有在不足拟合的结结晶体漆层，都会产生斑状花花花纹(Spotty feature)，如下图所示 (c)。而只要一般光电入射非晶型式漆层，随着不存有制度的衍射晶面，就不会实现一切衍射花花花纹，仅仅只是背底唯别。随着反射强度球表面积巨大，和锥面相切处的除（00）杆外同时还有（01)，(01)杆，竟然（02)，(02〉杆，某些杆产生合理的衍射细条纹。
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